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| 真空镀膜系统中真空泵的核心作用 |
| 发布时间：2025-12-23 浏览： 次 |
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在真空镀膜技术领域，真空泵是构建和维持理想真空环境的核心设备，其性能直接影响镀膜质量和工艺稳定性。真空镀膜系统通常采用多级泵组协同工作，共同实现对镀膜室内的气体高效抽除。
一、真空泵在镀膜系统中的关键作用 建立初始真空：机械泵作为前级泵，负责将镀膜室从大气压快速降至中真空范围(约1Pa)，为高真空泵创造工作条件。 获得高真空环境：扩散泵、涡轮分子泵等主泵可将真空度提升至10⁻³Pa以上，满足薄膜沉积对纯净环境的需求。 维持工艺稳定性：通过持续抽除工艺气体和放气产物，确保镀膜过程中真空度波动不超过允许范围。 控制气体成分：有效去除氧气、水蒸气等活性气体，避免薄膜氧化污染;排除碳氢化合物，防止油蒸气污染导致的薄膜缺陷。 二、主要真空泵类型及工作原理 1. 机械真空泵 旋片式机械泵：通过偏心转子带动旋片在泵腔内滑动，周期性地改变吸气腔容积实现气体压缩排出。单级泵可达0.1Pa真空度，双级泵性能更优。 滑阀式机械泵：采用偏心轮驱动滑阀往复运动，具有更强的耐用性和更高的抽速稳定性。 2. 扩散真空泵 采用高温工作液(如扩散泵油)产生高速蒸汽流，通过喷嘴将气体分子携带至排气口。配合冷阱使用可达到10⁻⁵Pa级超高真空，是传统镀膜系统的主力泵型。 3. 罗茨真空泵 双转子容积式泵，在1-10⁻²Pa范围内具有超高抽速。常作为机械泵与高真空泵间的增压单元，显著提高系统抽气效率。 4. 涡轮分子泵 现代镀膜系统的首选，通过高速转子(约90,000rpm)的叶片与气体分子碰撞实现定向输运。具有启动快、无油污染等优势，特别适合洁净镀膜工艺。 三、真空泵的协同工作与选型要点 理想镀膜系统采用三级泵组架构： 前级泵：机械泵建立基础真空 主泵：扩散泵/涡轮分子泵实现高真空 辅助泵：罗茨泵优化抽气曲线 选型需考虑： 极限真空度须高于工艺要求1-2个数量级 有效抽速应大于工艺气体负载的5-10倍 油污染敏感工艺优先选用干式泵 匹配腔体体积和所需抽气时间 四、真空泵维护与工艺控制 定期维护对保持泵性能至关重要： 机械泵需定期换油并检查皮带张力 扩散泵要监控油质并及时更换 涡轮分子泵需轴承系统保养 所有泵组应配备过载保护装置 通过科学配置和精心维护真空泵组，可确保镀膜系统长期稳定运行，生产出具有理想微观结构和性能的功能薄膜。 |
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