在真空镀膜工艺中，扩散泵堪称实现高真空环境的"幕后功臣"。这种依靠物理原理工作的真空泵，以其独特的设计和高效的抽气能力，成为现代镀膜设备不可或缺的关键部件。

　　一、扩散泵的工作原理

　　扩散泵通过热力学循环实现持续抽气。其核心工作机制可分为四个关键步骤：

　　油液加热：底部加热板将特制油液(分子量200-500的长链大分子油)加热至沸点，产生大量油蒸汽;

　　蒸汽喷射：高温油蒸汽通过多级喷塔的伞形喷嘴高速喷出，形成超音速蒸汽射流;

　　气体捕获：蒸汽射流与镀膜室进入的气体分子碰撞，如同铅球撞击乒乓球般将气体分子携带向下运动;

　　冷凝循环：携带气体的油蒸汽撞击水冷泵壁后重新液化，流回油锅循环使用，而被捕获的气体则由前级泵排出。

　　这种设计巧妙利用蒸汽动能，无需电子控制系统即可持续工作，展现了精妙的机械美学。

　　二、扩散泵的独特优势

　　在真空镀膜系统中，扩散泵展现出三大核心价值：

　　高效抽气能力：4-5级喷塔设计形成阶梯式抽气结构，每级喷塔可将气体逐级压缩，最终实现10⁻³至10⁻⁶Pa的高真空环境，完全满足镀膜工艺要求。

　　稳定持续工作：封闭的油循环系统确保泵体可7×24小时连续运转，蒸汽射流速度与气体分子热运动速度相匹配(约每秒数百米)，保证稳定的抽气效率。

　　维护成本低廉：无运动部件的设计大幅降低机械故障率，仅需定期更换工作油和清洁泵体，维护简便且使用寿命长达数万小时。

　　三、在镀膜系统中的协同工作

　　扩散泵需与前级泵(机械泵/罗茨泵)配合使用，形成"双级抽气"系统：

　　初始阶段：由机械泵先将腔体从大气压抽至约1Pa，避开扩散泵的返油区间;

　　转换阶段：当达到工作压力后切换至扩散泵主抽，此时抽气速度与压力保持恒定;

　　维持阶段：扩散泵维持高真空状态，同时前级泵持续抽走扩散泵排出的气体。

　　这种协同设计既发挥了机械泵的大气处理能力，又利用了扩散泵的高真空特性，使系统整体效率最大化。

　　四、应用中的注意事项

　　操作扩散泵需要特别注意：

　　预热时间：需提前30-60分钟加热油锅至工作温度

　　冷却要求：停机后必须继续冷却至油温低于60℃

　　油品选择：必须使用专用扩散泵油，普通润滑油会导致性能下降

　　压力监控：需防止前级压力过高导致油蒸汽反流

　　随着镀膜技术向更高精度发展，扩散泵仍在不断优化。新型复合分子泵油的出现和喷塔结构的改进，持续提升着抽气效率和极限真空度。这款诞生于20世纪初的经典设备，至今仍在真空镀膜领域散发着不可替代的光彩。

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