一、安全防护措施

　　断电操作：维修前必须断开三相380V电源，拔掉压缩机插头并确保开关处于断开状态，避免触电风险。设备需通过低阻值接地。

　　气压释放：拆卸前需确保泵内氦气压力(1.4-1.5MPa)完全释放，避免高压气体伤人。禁止在未泄压状态下处理软管或压力组件。

　　温度恢复：维修前需确认低温泵已回温至常温(可通过自然升温或再生器加热)，避免核心部件因低温冻坏或结霜损坏。

　　二、关键部件检修要点

　　安全阀检查：禁止堵塞或改装安全阀，再生期间需保证其通畅，防止泵腔压力过高引发危险。

　　冷阵保护：暴露大气前需用氮气填充泵腔，防止活性炭受污染。冷阵若被油蒸汽污染(如前级机械泵回流)，将无法再生。

　　吸附器更换：每运行20000小时(视型号而定)需更换压缩机吸附器，避免油污和水汽损坏制冷机。

　　三、常见故障处理

　　振动异常：

　　检查轴承磨损情况，定期加注润滑脂或更换轴承。

　　排查转子动平衡(如平衡片松动)、转轴挠曲或定转子气隙不均问题。

　　确保电源三相电阻平衡(偏差≤5%-10%)，避免缺相运行导致转矩不平衡。

　　密封与泄漏：定期检查密封件，发现渗漏立即修复，避免低温液体外泄。

　　四、维修后验证

　　重新启动前需连接前级真空管道，确保抽气系统通畅。

　　测试压缩机环境温度(40±5℃)及供电匹配性，确认无振动或异响后方可正式运行。

　　五、日常维护建议

　　使用前级管道捕集器(如氧化铝)阻挡油蒸汽污染。

　　定期检查冷却系统、电气连接及润滑状态，严格按制造商手册操作。

　　注意：维修人员需接受专业培训，突发事故应立即停机并启动应急预案。

　　本文由真空泵维修厂家爱加真空整理发布，仅供学习和参考!

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