一、水汽捕集泵概述

　　水汽捕集泵(又称超低温冷阱或polycold)是一种利用深冷技术快速捕集真空系统中残余气体的装置。其核心原理是通过制冷盘管(温度可低至-145℃)的低温冷凝效应，高效吸附水蒸气、油蒸汽等高沸点气体，从而显著提升真空系统的洁净度和抽气效率。该技术由Meissner发明，现由美国Brooks公司旗下Polycold品牌主导，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、空间科学等领域。

　　二、工作原理与核心优势

　　低温冷凝效应

　　水汽捕集泵将制冷盘管置于真空室或油扩散泵口，通过超低温表面使残余气体(80%以上为水蒸气和油蒸汽)迅速冷凝成液态或固态，大幅缩短抽真空时间(60%-95%)，同时将真空度提升至10⁻⁸ Torr(10⁻⁵ Pa)级别。

　　关键技术特点

　　高效降温：最快90秒内降至-145℃，吸附能力远超传统液氮方案。

　　自动除霜：配备热气除霜功能，90秒即可回温，避免结霜影响后续操作。

　　智能控制：采用触摸屏+PLC控制系统，支持本地/远程操作，兼容各类真空设备。

　　环保节能：采用混合环保制冷剂，单台压缩机即可实现自动复叠制冷，运行成本低。

　　三、应用场景

　　半导体与电子工业

　　在集成电路、显示器制造中，水汽捕集泵可消除残余气体污染，保障高真空环境的稳定性。

　　真空镀膜技术

　　适用于物理/化学气相沉积(PVD/CVD)、磁控溅射、离子镀膜等工艺，防止镀膜层因水汽污染出现缺陷。

　　科研与医疗设备

　　在分子束研究、空间模拟装置及医疗设备制造中，提供洁净真空环境，延长设备寿命。

　　工业加工

　　用于塑料镀膜、金属表面处理等领域，避免高沸点气体对产品的污染。

　　四、未来发展趋势

　　随着精密制造和科研需求的增长，水汽捕集泵将向更低温度(如-160℃以下)、更高能效及模块化设计方向发展。其与干式真空泵的协同应用，或将成为工业领域降本增效的新选择。

　　作为真空技术的重要突破，水汽捕集泵以高效、洁净、节能的特点，持续推动着高精度制造与科学研究的进步。

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