一、维修前的准备工作

　　安全措施：确保设备完全断电，并穿戴防护装备(如手套、护目镜)。

　　工具准备：备齐螺丝刀、扳手、万用表等基础工具，以及真空封泥、密封胶圈等耗材。

　　故障诊断：详细记录故障现象(如真空度异常、电气报警等)，优先排查常见问题点。

　　二、常见故障及处理方法

　　1. 真空度问题

　　低真空异常：检查机械泵油位(连续工作1个月需换油)、管道密封性及阀门状态。若雨季湿度高，需缩短换油周期。

　　高真空不足：扩散泵若抽速下降，需清洗泵腔并更换扩散泵油(每6个月一次)，同时检漏确认密封圈无老化或压损。

　　2. 电气系统故障

　　控制失灵：检查电路板连接器是否氧化，用万用表测试5V电源输出是否稳定。

　　电子枪异常：若高压无法启动，需确认真空度是否达标(≥2×10⁻³Pa)，并检查水流继电器和门禁开关状态。

　　3. 机械部件维护

　　旋转部件卡顿：清洁后涂真空泵油润滑，避免沙尘进入。

　　掩膜夹具故障：检查翻转信号线路、控制开关及机构动作流畅性，必要时校准修正板位置。

　　三、关键维修操作规范

　　检漏流程：

　　分段检漏：安装部件后逐段测试，优先检查法兰连接处和动密封件。

　　氦质谱检漏：先排查大漏孔(用低浓度氦气)，再精细检测小漏点。

　　应急处理：

　　突发断电/断水：立即关闭泵阀，启用备用水源冷却;若高温状态，需手动充气保护(-0.02MPa)。

　　真空室污染：每200次镀膜后，用NaOH溶液清洁内壁(注意防护)，再用清水和汽油彻底清洗。

　　四、日常维护建议

　　环境要求：保持车间温度10~30℃、湿度≤70%，地面无尘(水磨石或涂漆地面)。

　　定期保养：

　　机械泵油每月检查，半年全面清洁油箱。

　　监控片使用不超过3次，镀膜前需严格清洗，避免新旧混用。

　　五、注意事项

　　禁止操作：未达真空度时禁止启动电子枪;扩散泵未冷却前不得充入大气。

　　专业支持：复杂故障(如控制系统损坏)建议联系厂商，避免自行拆解导致二次损坏。

　　通过规范维修流程和定期维护，可显著提升设备稳定性，延长使用寿命。

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