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真空镀膜机旋片式真空泵正确维修步骤?
发布时间:2023-02-27 浏览:1469 次

  一、将旋片式真空泵拆离真空系统,放油先拆低真空端,取下后端板后,再取低真空转子及键,然后将前端板拆下,取出真空转子及转片、弹簧等,取下视镜、排气阀门、排气盖,用汽油或者用酒精彻底清洗全部零件。

  拆时应注意每个零件的部位,方向及组合松紧,拆下的零件应分开放置,不允许混在一起,互相磨伤。

  检查全部零部件,看有无磨损或拉毛,打烂等不良现象,按情况进行修理或更换。特别注意前后端板发现有较大程度的擦伤,说明装配时转子与中隔板不垂直,应予调整定位销钉,如太严重时应予修理或更换。

  旋片式真空泵检查间隙:分别将高转子放入高真空室,低转子放入低真空室,用刀口尺及厚薄规检查间隙,两端的间隙应基本相等。

  二、装配前应清洗干净并烘干,然后进行装配。先装高真空端,将弹簧转片托起装入高转子内,然后放进高真空室,装上前端板,再装定位销钉,均匀拧紧螺钉,装配后应保证转动灵活轻松,均匀一致。

  然后再装低真空转子及后端盖,低转片的槽应向后端板一边。再装排气门,排气阀片应贴紧阀板坐,再装其它零件。

  三、装配旋片式真空泵时应注意,凡转动部位应先打上真空油,注意清洁,严禁铁屑泥砂尘埃等落入泵内,定位销钉要接触良好,装好的旋片式真空泵应转动轻松,无转重不均,并没有阻滞现象。

  安装完毕后,分别从进气嘴及加油孔加油,旋片式真空泵装油在视镜横线处为止,再试车。​​​​

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