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多功能真空校准装置解析?
发布时间:2018-3-12 浏览:569 次

  为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。

  该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×105 Pa~1×10-4 Pa,真空漏孔校准范围为5×10-5~5×10-9 Pa·m3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。

  随着我国空间科学技术的发展,真空测量技术也得到长足进步,已广泛应用在航空航天、电气电子、石油化工等行业。特别是我国载人飞船、登月工程、火星探测等一系列国防新领域的飞速发展,对真空测量提出了更高的要求,相应的高精度、高可靠性的真空计量校准需求也应运而生。

  传统的实验室真空校准装置大多系统设计复杂,研制费用高,校准耗时长,无法满足航天器研制任务的需要。

  本文研制了一套多功能真空校准装置,该装置选用静态比对法、动态比对法以及质谱比对法的校准原理研制而成,通过设计不同量程的电容薄膜规组成标准规组的方法,解决了单一标准规在满量程范围内精度偏差的问题。

  装置具有操作简易,自动化程度高,可批量校准等特点,装置校准范围既覆盖了航天领域主要真空校准需求,又具有研制成本低,综合性价比高的优点。

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