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真空镀膜时产品掉膜的原因分析
发布时间:2017-11-8 浏览:735 次

  真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

  1、表面清洁度

  产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

  2、清洗过程中的问题

  镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

  3、工艺的问题

  工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

  4、靶材的问题

  钛靶是否中毒,检查和更换。

  5、真空腔是否漏气

  进行一次捡漏。

  6、产品表面氧化

  氧化的原因很多,可以自行判断处理。

  本文由真空镀膜机厂家爱加真空收集整理,仅供参考!