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Polycold 水汽捕集泵的工作原理
发布时间:2014-11-15 浏览:8238 次

 Polycold 快速循环水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。

   冷媒送管    冻连头    空腔壁   界面
 
 
   冷媒送管  空控制   冻盘 E  
 
 

A. 冷媒流回口#1      
B.冷媒流出口#1    
C.线集中孔
D. 各段示及切
E. 控制模修相关问题
F. 除霜/待机/功能开关
G. 置放
H. 格牌
I.接口,可控控制
J.开关OFF(O)位置,主源切
K.冷媒及Pump接口
L.冷却水、出接口
M. 压缩机高低开关
N.冷媒流回口#2(第二)
O.冷媒流出口#2(第二)
P. 除霜/待机/功能开关(第二)
Q. Low voltage box 电压
R. High voltage box 电压

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